可控硅反向恢复测试设备主要完成功率器件在高di/dt下反向恢复特性参数的测试。
4.2主回路参数
序号 | 项目 | 指标范围 | 分辨率 | 误差范围 | 备注 |
1 | 直流电源 | 100V~4000V连续 | 10V | ±3%±10V | DC |
2 | 支撑电容 | ≥5mF | ±5%±5uF | C | |
3 | Didt调节电感 | 0.5uH~1uH~2uH；分3档手动调节 | ±5% | ||
4 | 电流采集(I1) | CWT30B | 6000A | ||
5 | 电压采集(v+/v-) | TEKP6015A | 20KV | ||
6 | 过流保护(I2) | CP9600LF | |||
7 | 负载电感 | 分档：50uH/100uH/200uH/500uH | |||
8 | R/C | IGCT吸收电阻 | |||
9 | IGCT器件（Q1） | 满足电压和电流量程 |
4.3测试参数
序号 | 参数 | 测试范围 | 精度 | 备注 |
1 | -di/dt | 200 ~5000A/us | ±3% | |
2 | VR | 0-4000V | ±3% | |
3 | IF | 200-5000A | ±3% | |
4 | IRR | 0~5000A | ±3% |
注： 以上参数能够同时实现并独立可调同时能够测试反向恢复电荷Qrr、Qra，反向恢复电流IRM、反向恢复时间trr、ta，tb，s（软度因子），恢复能量Eoff。
4.4自动恒温压力夹具
序号 | 项目 | 参数 | 备注 |
1 | 工作方式 | 自动 | |
2 | 压力范围 | 10～130KN分辨率0.1 KN；精度±5% | |
3 | 温度控制范围 | 70～180℃，分辨率0.1℃ | 高压阳极控温器采用非接触式测温 |
5、 检测参数
参数 | 项目 | |
*正向电流 | 范围：200-5000A，连续可调； ±3%±2A； | |
*二极管电压 | 范围：300-4000V，连续可调； ±3%±2V； | |
反向恢复电流测量范围 | 范围：200-5000A，连续可调； ±3%±10A | |
反向恢复电荷测量范围 | 200-35000μC±3%±10μC | |
反向恢复时间测量范围 | 0.01-40μs±3%±0.05μs | |
反向恢复能量测量范围 | 0.1-1000J±3%±0.1J | |
*可选电感 | 0.2、0.5、1、2、3μH可选 | |
电流变化率 | 500A/μs-2500A/μs 可调 |
（上海半导体测试行业）
